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光学真空镀膜机的清洁保养方法介绍
cdcm12345 | 2025-04-18 14:50:33    阅读:32   发布文章

光学真空镀膜机的日常清洁和维护非常重要。做好日常清洁保养,可以降低日常生产成本,降低故障率,提高效率。下面超迈光电小编将详细介绍光学真空镀膜机的清洁保养方法,希望对大家有所帮助:

光学真空镀膜机的保养

(一)定期更换扩散泵油

扩散泵油使用进行一段工作时间,约二个月(两班),因在企业长期发展高温以及环境,虽然具有较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能导致产生影响裂解,使其产品品质不断下降,而延长抽气时间。在我们可以认为学习时间延长得太多时,应予更换。

(二)真空泵

机械泵油和维护泵油的油质在使用两个月后会发生变化。因为油可能会吸入水分、杂质等原因,用过的油粘度变差,真空下降,需要更换。如果是新设备,在使用的前半个月就要更换,因为在磨合期,油中含有较多的磨合铁粉,会加剧磨损。

(三)清洁卫生

定期清洁设备及其周围环境,始终保持设备内外的清洁,有序安排设备周围环境,有良好的工作环境,以确保安全。

光学真空镀膜机的清洗

设备使用一周后(三班倒),由于镀料不仅镀在工件表面,而且由于其无方向性还镀在工作室里的衬板上,膜厚越来越厚,真空镀膜设备由于组织疏松和缠绕吸收大量气体,抽气越来越慢。这个时候工作室和衬板都要清洗干净。如果零件不需要拆卸,可以用砂纸打磨。衬板可以浸泡在氢氟酸溶液中。氢氟酸和水的比例取决于浸泡时间的长短,不伤衬板。安装前,衬板必须干燥。干燥前,应尽可能将衬板中的水擦干。工作架等零件用砂纸清理干净后,真空室内的灰尘需要全部清理干净,可以用吸尘器吸上来。最后安装内衬时,真空室和内衬都需要用酒精擦拭干净。因为是用电子枪和离子源辅助镀膜,所以可能很难清洗,可以用喷砂等方法清洗。





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致力于真空镀膜、等离子刻蚀、人工晶体材料和特殊装备的技术提升,具有全系列涂层服务装备和检测手段,已申请国家专利60余项,授权专利与软件著作权50余项,拟定国家标准2项,行业标准1项,为中国物理学会固体缺陷专家委员单位,全国电热装备标准化委员会单位,已形成工业级、科研级和特殊级三大产品系列
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